진공펌프의 오일은 작동매체 역할을 합니다. 열전달 오일 펌프를 사용하는 동안 진공 펌프 오일이 펌프 몸체 공동에 직접 들어가기 때문에 진공 펌프가 작동 중일 때 가스 압력이 점차 감소함에 따라 펌프 온도가 점차 증가합니다. 오일 내 포화 증기압이 높은 분자 구성 요소는 진공 공간으로 증발할 수 있으며, 이는 진공 펌프의 최종 압력 달성에 영향을 미치고 진공 시스템으로 다시 흐를 수도 있습니다.
진공 펌프는 한 쌍의 고정밀 기어를 통해 상대적으로 동기적으로 작동합니다. 구동축은 커플 링을 통해 모터에 연결됩니다. 변속기 구조 레이아웃에는 두 가지 주요 유형이 있습니다. 하나는 모터와 기어가 로터의 같은 쪽에 배치된다는 것입니다. 피동 로터는 모터 엔드 기어에 의해 직접 구동되므로 구동 로터 샤프트의 비틀림 변형이 작고 구동 샤프트의 큰 비틀림 변형으로 인해 두 로터 사이의 간격이 변하지 않으므로 공정 중에 로터 사이의 간격이 균일하게 유지됩니다.
추가 정보
진공 펌프 선택:
⑴작동 중 진공 펌프에서 발생하는 진동이 공정과 환경에 영향을 미치는지 여부. 공정상 허용되지 않는 경우 진동이 없는 펌프를 선택하거나 진동 방지 조치를 취해야 합니다.
⑵ 펌핑된 가스의 구성, 가스에 응축성 증기가 포함되어 있는지, 미립자 먼지가 있는지, 부식성이 있는지 등을 이해합니다. 진공 펌프를 선택할 때는 가스 구성을 알고 펌핑할 가스에 해당하는 펌프를 선택해야 합니다. 가스에 증기, 입자, 부식성 가스가 포함되어 있는 경우 펌프의 공기 흡입 파이프라인에 응축기, 집진기 등의 보조 장비 설치를 고려해야 합니다.
⑶진공펌프는 진공설비 공정에서 발생하는 모든 가스를 작동압력 하에서 토출할 수 있어야 한다.
⑷진공펌프를 올바르게 결합하세요. 진공 펌프에는 선택적 펌핑 기능이 있기 때문에 때로는 한 가지 유형의 펌프가 펌핑 요구 사항을 충족할 수 없으며, 펌핑 요구 사항을 충족하려면 여러 펌프를 결합하여 서로 보완해야 합니다.
예를 들어 티타늄 승화 펌프는 수소 펌핑 속도가 빠르지만 헬륨은 펌핑할 수 없는 반면, 삼극자 스퍼터링 이온 펌프(또는 다이오드형 비대칭 음극 스퍼터링 이온 펌프)는 펌핑 속도가 빠릅니다. 아르곤의 경우 특정 펌핑 속도에서 두 가지를 결합하면 진공 장치의 진공도가 향상됩니다. 또한 일부 진공 펌프는 대기압에서 작동할 수 없으며 사전 진공이 필요합니다. 일부 진공 펌프는 출구 압력이 대기압보다 낮고 배압 펌프가 필요하므로 펌프를 결합해야 합니다.