동일한 주파수, 일정한 위상차, 일관된 진동 방향을 갖는 두 개의 간섭성 광원 열은 광학 간섭을 일으킬 수 있습니다.
A 지점과 B 지점의 간섭 무늬 피크 높이의 차이가 높이 차이입니다.
백색광 간섭계의 광 간섭 원리는 PSI 위상 편이 간섭법과 VSI 수직 주사 간섭법의 두 가지 범주로 나뉩니다.
PSI 위상 변이 간섭계:
PSI
위상 변이 간섭계는 특정 파장 범위 내의 광원을 사용하여 대상 표면 반사광과 기준 표면을 확인합니다. 반사광 사이의 빛 간섭. 대상면의 반사광과 기준면의 반사광 사이의 위상을 τ로 하고, 기준면으로부터의 높이를 h로 하면 β=4h/λ가 됩니다. 위상측정법은 아테네 스캐너와 같은 액츄에이터를 이용하여 측정면의 광로를 이동시키고, 1/4 파장에서 광로를 이동시켰을 때 얻어지는 다중 간섭무늬의 위상차(?)를 계산하고, 그런 다음 높이 h로 변환합니다.
VSI 수직 주사 간섭계:
VSI
수직 주사 간섭계 대물렌즈는 특정 간격으로 움직여 각 차수의 간섭 줄무늬의 밝기를 결정합니다. 측정면의 광로 길이가 기준면의 광로 길이와 같을 때 간섭무늬의 밝기는 최대에 도달합니다. CCD 수광소자의 각 지점에서 최대 간섭무늬 휘도의 Z축 높이를 결정함으로써 3차원 프로파일, 즉 높이차를 측정할 수 있다.